| マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 〔委 員 長〕 | 木股雅章（立命館大学） | |
| 〔幹 事〕 | 菅野公二（京都大学） | |
| 日 時 | 2010年6月17日（木） 14:20〜17:20 | |
| 2010年6月18日（金） 9:00〜17:10 | ||
| 場 所 | 東京大学生産技術研究所（東京都目黒区駒場4-6-1，交通：小田急線・東京メトロ千代田線／東北沢駅より徒歩7分，代々木上原駅より徒歩12分， 井の頭線／駒場東大前駅（西口）より徒歩10分，池ノ上駅より徒歩10分。詳細は次のＵＲＬを参照ください。 http://www.iis.u-tokyo.ac.jp/access/access.html ） | |
| 協 賛 | 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 日本機械学会 化学とマイクロ・ナノシステム研究会 |
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| 議 題 | テーマ「マイクロマシン・センサシステム及び一般」 | |
| （A会場 An棟２階コンベンションホール） 6月17日（木） 14:20〜17:20 テーマ「マイクロ・ナノファブリケーション」 | |
| 座長 菅野公二（京都大学） | |
| MSS-10-001 | MEMS応用に向けた超臨界流体を用いた金属薄膜形成技術の開発 |
| ◎百瀬 健,上嶋健嗣（東京大学）,山田英雄（BEANS研究所）,杉山正和,霜垣幸浩（東京大学） | |
| MSS-10-002 | 光電気化学エッチングにより作製した静電駆動単結晶SiCブリッジ構造 |
| ◎渡辺直樹,木本恒暢,須田 淳（京都大学） | |
| MSS-10-003 | Si基板上高品質ＡｌＮテンプレートの開発 |
| ◎美濃卓哉,高野隆好,椿 健治,平山秀樹,杉山正和（BEANSプロジェクト） | |
| MSS-10-004 | 超臨界流体を用いたSiO2成膜における酸化剤効果 |
| ◎山田英雄（BEANSプロジェクト）,百瀬 健（東京大学，BEANSプロジェクト）,北村康宏,服部 有（デンソー）,杉山正和,霜垣幸浩（東京大学，BEANSプロジェクト） | |
| MSS-10-005 | LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法 |
| ◎松尾幸祐（東北大学）,松村 武（情報通信研究機構,東北大学）,江刺正喜,田中秀治（東北大学） | |
| MSS-10-006 | 合成石英のフェムト秒レーザーアシスト・ドライエッチング＝ナノ周期構造の選択的エッチング＝ |
| ◎額賀 理（BEANSプロジェクト）,山本 敏（フジクラ）,久保田智広（東京大学、BEANSプロジェクト）,杉山正和（東京大学、 BEANSプロジェクト ）,寒川誠二（東北大学、 BEANSプロジェクト） | |
| MSS-10-007 | 大口径中性粒子ビーム装置の開発とシリコンエッチング |
| ○久保田智広,杉山正和（BEANS Project, University of Tokyo）,額賀 理,植木真治（BEANSプロジェクト）,大竹浩人（東北大学）,寒川誠二（BEANSプロジェクト、東北大学） | |
| MSS-10-008 | SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ |
| ◎李 永芳,冨澤 泰（BEANS研究所）,古賀章浩（東芝）,安藤泰久（産業技術総合研究所）,橋口 原（静岡大学）,杉山正和,藤田博之（東京大学） | |
| MSS-10-009 | 高アスペクトトレンチへの選択的自己組織化微粒子配列 |
| ◎阿波嵜実（BEANS プロジェクト）,相馬伸一（富士電機システムズ）,諸貫信行 （BEANS プロジェクト、首都大学東京）,杉山正和（BEANS プロジェクト、東京大学） | |
| （A会場 An棟２階コンベンションホール） 6月18日（金） 9:00〜12:00 テーマ「マイクロマシン一般」 | |
| 座長 松本佳宣（慶應義塾大学），肥後昭男（東京大学） | |
| MSS-10-010 | 界面準位の影響を考慮した櫛歯アクチュエータの特性解析 |
| ◎植木真治,西森勇貴（BEANSプロジェクト）,今本浩史（オムロン）,久保田智広,杉山正和,寒川誠二,橋口 原（BEANSプロジェクト） | |
| MSS-10-011 | プラズモン光学を応用したＭＥＭＳ型可変色デバイスの検討 |
| 李 泰林,◎肥後昭男,藤田博之,中野義昭,年吉 洋（東京大学） | |
| MSS-10-012 | 光給電型MEMSスキャナによるOCT内視鏡の試作 |
| ○中田宗樹（東京大学）,鄭 昌鎬,両澤 淳,諫本圭史,鈴木卓也（サンテック）,藤田博之,年吉 洋（東京大学） | |
| MSS-10-013 | ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係 |
| ○冨澤 泰,李 永芳（BEANSプロジェクト）,古賀章浩（東芝）,橋口 原（静岡大学）,安藤泰久（産業技術総合研究所）,藤田博之（東京大学） | |
| MSS-10-014 | 静電くし駆動２次元ディスプレイミラーの真空中駆動 |
| ◎チュホアンマン,羽根一博（東北大学） | |
| MSS-10-015 | 近赤外分光用ラミナー型グレーティングの試作と電磁力による可動化 |
| ○渡部善幸,阿部 泰,矢作 徹,岩松新之輔,小林誠也,今野俊介,高橋義行,佐藤敏幸（山形県工業技術センター） | |
| MSS-10-016 | 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響 |
| ◎佐々木敬,羽根一博（東北大学） | |
| MSS-10-017 | 〔欠番〕 |
| MSS-10-018 | 低温環境下における単結晶シリコン薄膜の破壊挙動 |
| ○安藤妙子（立命館大学）,侘美貴文,佐藤一雄（名古屋大学） | |
| （A会場 An棟２階コンベンションホール） 6月18日（金） 13:00〜15:00 テーマ「センサデバイス・システム」 | |
| 座長 木股雅章（立命館大学） | |
| MSS-10-019 | MEMS-CCRを利用したリモート環境センシング |
| SamsonScott,KediaSunny,WangWeidong,HazenRay,BumgarnerJohn（SRI International）,AgarwalRahul（Institute of Microelectronics, Singapore）,GonzalezGino（University of South Florida）,○大内聡美（SRI インターナショナル） | |
| MSS-10-020 | 接触型画像センサを用いた点字認識法の提案 |
| ◎北園優希,井上剛志（九州工業大学）,中島翔太（宇部高専）,張 力峰,芹川聖一（九州工業大学） | |
| MSS-10-021 | Development of a biomimetic Tactile Sensor for High Sensitivity |
| ◎張 裕華,三木則尚（慶應義塾大学） | |
| MSS-10-022 | ウェアラブル実装に対応した円筒状繊維熱式加速度センサの提案 |
| ◎北村真吾,石川昌治,式田光宏,佐藤一雄（名古屋大学） | |
| MSS-10-023 | 空中用の静電容量型マイクロ超音波センサの電気機械的特性 |
| ◎車 溥相（大阪大学）,李 昇穆（Ingen MSL）,金島 岳,奥山雅則（大阪大学） | |
| MSS-10-024 | 液体密封マイクロ流路列を用いたポリマータッチパネルセンサ |
| ◎滝安純平,井上剛良（東京工業大学） | |
| （A会場 An棟２階コンベンションホール） 6月18日（金） 15:10〜17:10 テーマ「流体・センサデバイス」 | |
| 座長 安藤妙子（立命館大学） | |
| MSS-10-025 | 生体適合性材料を用いた肺機能測定用流量センサの開発 |
| ◎鹿野嵩瑛,横田拓央,岩井 聡,松永直之,式田光宏,佐藤一雄（名古屋大学） | |
| MSS-10-026 | 多点型電極を用いたカーボンナノチューブの誘電泳動 |
| ○鈴木瑞明（BEANSプロジェクト）,杉山正和（東京大学大学院） | |
| MSS-10-027 | シリコンナノピンセットを用いたDNA酵素反応のメカニカルセンシング |
| ◎LafitteNicolas,久米村百子,CollardDominique,吉澤聡子,FourmyDominique,JalabertLaurent（LIMMS-フランス国立科学研究センター/生産技術研究所）,竹内昌治,藤井輝夫,藤田博之（東京大学 生産技術研究所） | |
| MSS-10-028 | マイクロ旋回流を利用した3次元肝組織形成プラットフォームの開発 |
| ◎太田裕貴,三木則尚（慶應義塾大学） | |
| MSS-10-029 | 3方向からの交互脈動送液による高速2液混合 |
| ◎菅野公二,中田哲博,平井義和,土屋智由,田畑 修（京都大学） | |
| MSS-10-030 | マイクロ流体デバイス集積化による校正機能付きISFET化学センサの開発 |
| ◎福場辰洋,玉井雄一朗（東京大学）,許 正憲（独立行政法人海洋研究開発機構）,下島公紀（財団法人電力中央研究所）,藤井輝夫（東京大学） | |
| ※ | 1件当り20分(質疑応答5分を含む) |