1月13日(木) 11:00〜12:20 テーマ「フィジカルセンサ一般」 |
座長 毛塚博史(東京工科大学)
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PHS-11-001 |
MEMSガスジャイロとその周辺回路に関する検討 |
◎松木勇介,前中一介,藤田孝之,神田健介(兵庫県立大学) |
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PHS-11-002 |
スパッタPZT薄膜を用いた振動型加速度センサ |
◎永田和幸(兵庫県立大学、科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),山川隆洋(兵庫県立大学),伊賀友樹(科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),神田健介,藤田孝之(兵庫県立大学、科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),樋口行平(科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト),前中一介(兵庫県立大学、科学技術振興機構 ERATO前中センシング融合プロジェクト) |
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PHS-11-003 |
ポリイミドを基板としたCr-N薄膜の作製と微圧センサ応用 |
○丹羽英二,佐々木祥弘,荒井賢一,増本 剛(電気磁気材料研究所) |
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PHS-11-004 |
住環境における超高感度ホルムアルデヒド計測のための生化学式ガスセンサ(バイオスニファ) |
◎工藤寛之,板橋 玄,鈴木祐貴,月精智子,宮島久美子,髙橋大志,荒川貴博,三林浩二(東京医科歯科大学) |
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