（豊橋技術科学大学）　5月10日（木）　13:05〜14:25　テーマ「セッション１」

座長　竹内　希（東京工業大学）

反応性プラズマ溶射法によるAlN皮膜作製におけるプラズマガスの影響

◎ShahienMohammed,山田基宏,安井利明,福本昌宏（豊橋技術科学大学）

マイクロ波励起・高密度近接プラズマによる超高速DLC成膜

岡本隆志,○上坂裕之,高岡泰之,梅原徳次（名古屋大学）

単極磁場配位型RFマグネトロンスパッタによるターゲット利用率改善

○大津康徳,執行正和,三沢達也（佐賀大学）

低気圧マイクロ波放電水素プラズマの非平衡性に関する分光学的研究

清水良浩,根津　篤,松浦治明,○赤塚　洋（東京工業大学）

（豊橋技術科学大学）　5月10日（木）　14:40〜16:00　テーマ「セッション２」

座長　上坂　裕之（名古屋大学）

低コヒーレンス干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度計測

◎太田貴之,伊藤昌文,加藤寛人（名城大学）,堤　隆嘉,竹田圭吾,堀　勝（名古屋大学）

水面上アルゴンパルスプラズマによる酢酸分解

◎竹内　希,安藤瑞基,安岡康一（東京工業大学）

プラズマ電解酸化におけるマイクロアークの挙動

○安井　利明,西川　隆太郎,廣永　光希,福本　昌宏（豊橋技術科学大学）

ペニングトラップを用いた不純物フリーZnOナノ粒子形成プロセスの数値的検討

○比村治彦,西岡祐司（京都工芸繊維大学）

（豊橋技術科学大学）　5月10日（木）　16:15〜17:15　テーマ「セッション３」

座長　大津　康徳（佐賀大学）

Decomposition of waste plastics using RF discharge H2O plasma

○LiuChung-Ming,SungTa-Lun,堤井信力,ChenPao-Chi（Department of Chemical and Materials Engineering）,小野　茂（東京都市大学）,堤井君元（九州大学大学院）

放電生成プラズマ方式による極端紫外光の高効率化に向けた各パラメータの最適条件の検証

◎冨塚　拓,BinHuang,渡辺正人,堀田栄喜（東京工業大学）

ＤＬＣ成膜用ハイドロカーボンプラズマにおける基板への入射イオンおよびラジカルフラックスの計算機解析

○小田昭紀（千葉工業大学）,上坂裕之（名古屋大学）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　09:00〜10:40　テーマ「セッション４」

座長　比村　治彦（京都工芸繊維大学）

中央に穴のあるターゲットがパルススパッタリングの電気的特性に及ぼす影響

○東　欣吾,井上祐輔,奥原大地（兵庫県立大学）

ECRプラズマ作製によるCu2O系PVセルの真空特性

◎相田拓也,池畑　隆,佐藤直幸（茨城大学）

大量に原料間歇導入したAr-O2変調熱プラズマによるTiO2ナノ粒子生成と温度場解析

◎郭　韋萱,附　達也,田中康規,上杉喜彦,石島達夫（金沢大学）,渡邉　周,中村圭太郎（日清製粉グループ本社）

高圧力・膜厚均一を目指したCVD用アレイ型プラズマ源

○星島一輝,中島義晴,木村憲明（大阪大学）

宇宙機推進のための永久磁石を用いたヘリコンプラズマ源の開発

○松岡健之,船木一幸（宇宙航空研究開発機構）,篠原俊二郎（東京農工大学工学研究院）,谷川隆夫（東海大学・総合科学技術研究所）,佐藤周平,藤野貴康（筑波大学大学院）,中村隆宏（東京農工大学工学府）,羽田　亨（九州大学総合理工学研究院）,ShamraiKonstantin. P（Institute for Nuclear Research, Ukraine）,西田浩之（東京農工大学工学研究院）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　11:00〜12:00　テーマ「セッション５」

座長　佐藤　直幸（茨城大学）

低電力大気圧マイクロ波プラズマ溶射による硬質クロム皮膜作製

◎AHMAD REDZA BIN AHMAD MOKHTAR,安井　利明,福本　昌宏（豊橋技術科学大学）

DLC成膜向けハイパワーパルスマグネトロンスパッタ放電の特性

◎西村亮太郎,木村高志（名古屋工業大学）

大気圧メゾプラズマの酸化・還元処理への利用

◎田上英人,西尾　啓,須田善行,滝川浩史（豊橋技術科学大学）,志岐　肇（大研化学工業）,尾ノ井正裕（金属技研）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　13:00〜14:20　テーマ「セッション６」

座長　金　載浩（産業技術総合研究所）

アーク放電で合成した炭素ナノ材料を用いた電気二重層キャパシタの作製

◎泉　陽嵩,須田善行,滝川浩史,田上英人（豊橋技術科学大学）,植　仁志（東海カーボン）,青柳伸宜,大川　隆（大研化学工業）,清水一樹（湘南合成樹脂製作所）

ノズル形状の異なるパルスプラズマ推進機の性能に関する研究

◎佐々木脩任,根城安伯（八戸工業大学大学院工学研究科）

パルス型プラズマスラスタのレイトタイムアブレーション持続時間の評価

◎清水一樹,宮坂武志,安里勝雄,阪口直也,伊藤啓二,佐々木太朗（岐阜大学）

Tiの粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる薄膜の作製

○川崎仁晴,大島多美子,猪原武士,柳生義人,須田義昭（佐世保工業高等専門学校）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　15:20〜17:00　テーマ「セッション７」

座長　宮坂　武志（岐阜大学）

ホール型イオンスラスタの大電力・高比推力作動

◎三藤陽平,杉本　成,加藤優貴,山本　怜,田原弘一（大阪工業大学）

低毒性推進剤を用いた直流アークジェットスラスタの性能特性

◎松本和真,杉村勇也,藤田雄也,田原弘一（大阪工業大学）

Studies of ozone decomposition by surface catalytic dissociation at the inner electrode surface of a cylindrical barrier discharge ozonizer

○SungTa-Lun,TeiiShinriki,LiuChung-Ming,HsiaoRuey-Chang,ChenPao-Chi（Department of Chemical and Materials Engineering）,ShigeruOno（Department of Electrical Engineering）,WuYu-Heng,YangChi-Kai（Agricultural Research Institute, Taiwan）,EbiharaKenji（Environment and Energy Laboratory, Japan）,TeiiKungen（Department of Electrical and Materials Science ）

電子状態モニタ用マイクロ波共振器プローブの小型化

○中村圭二,熊崎恵未,菅井秀郎（中部大学）

	〔委員長〕	赤塚　洋（東京工業大学）
	〔幹　　事〕	大津康徳（佐賀大学）
	〔幹事補佐〕	竹内　希（東京工業大学）


日　時	2012年5月10日（木）　13:05〜17:35
	2012年5月11日（金）　09:00〜16:40
場　所	豊橋技術科学大学ベンチャービジネスラボラトリー（愛知県豊橋市天伯町雲雀ヶ丘１－１，交通：豊橋駅東口バス乗り場　2番豊橋技科大線（技科大前行き、福祉村行き、りすぱ豊橋行き）技科大前下車（所要時間約25分）。詳細は次のURLをご参照ください。http://www.vbl.tut.ac.jp/access.html）
共　催	IEEE名古屋支部 IEEE 日本カウンシル
協　賛	豊橋技術科学大学ベンチャービジネスラボラトリー
議　題	テーマ「プラズマ／一般」

（豊橋技術科学大学）　5月10日（木）　13:05〜14:25　テーマ「セッション１」
座長　竹内　希（東京工業大学）

PST-12-001	反応性プラズマ溶射法によるAlN皮膜作製におけるプラズマガスの影響
	◎ShahienMohammed,山田基宏,安井利明,福本昌宏（豊橋技術科学大学）

PST-12-002	マイクロ波励起・高密度近接プラズマによる超高速DLC成膜
	岡本隆志,○上坂裕之,高岡泰之,梅原徳次（名古屋大学）

PST-12-003	単極磁場配位型RFマグネトロンスパッタによるターゲット利用率改善
	○大津康徳,執行正和,三沢達也（佐賀大学）

PST-12-004	低気圧マイクロ波放電水素プラズマの非平衡性に関する分光学的研究
	清水良浩,根津　篤,松浦治明,○赤塚　洋（東京工業大学）

（豊橋技術科学大学）　5月10日（木）　14:40〜16:00　テーマ「セッション２」
座長　上坂　裕之（名古屋大学）
PST-12-020	低コヒーレンス干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度計測
	◎太田貴之,伊藤昌文,加藤寛人（名城大学）,堤　隆嘉,竹田圭吾,堀　勝（名古屋大学）

PST-12-007	水面上アルゴンパルスプラズマによる酢酸分解
	◎竹内　希,安藤瑞基,安岡康一（東京工業大学）

PST-12-008	プラズマ電解酸化におけるマイクロアークの挙動
	○安井　利明,西川　隆太郎,廣永　光希,福本　昌宏（豊橋技術科学大学）

PST-12-009	ペニングトラップを用いた不純物フリーZnOナノ粒子形成プロセスの数値的検討
	○比村治彦,西岡祐司（京都工芸繊維大学）

（豊橋技術科学大学）　5月10日（木）　16:15〜17:15　テーマ「セッション３」
座長　大津　康徳（佐賀大学）

PST-12-010	Decomposition of waste plastics using RF discharge H2O plasma
	○LiuChung-Ming,SungTa-Lun,堤井信力,ChenPao-Chi（Department of Chemical and Materials Engineering）,小野　茂（東京都市大学）,堤井君元（九州大学大学院）

PST-12-011	放電生成プラズマ方式による極端紫外光の高効率化に向けた各パラメータの最適条件の検証
	◎冨塚　拓,BinHuang,渡辺正人,堀田栄喜（東京工業大学）

PST-12-012	ＤＬＣ成膜用ハイドロカーボンプラズマにおける基板への入射イオンおよびラジカルフラックスの計算機解析
	○小田昭紀（千葉工業大学）,上坂裕之（名古屋大学）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　09:00〜10:40　テーマ「セッション４」
座長　比村　治彦（京都工芸繊維大学）

PST-12-013	中央に穴のあるターゲットがパルススパッタリングの電気的特性に及ぼす影響
	○東　欣吾,井上祐輔,奥原大地（兵庫県立大学）

PST-12-014	ECRプラズマ作製によるCu2O系PVセルの真空特性
	◎相田拓也,池畑　隆,佐藤直幸（茨城大学）

PST-12-015	大量に原料間歇導入したAr-O2変調熱プラズマによるTiO2ナノ粒子生成と温度場解析
	◎郭　韋萱,附　達也,田中康規,上杉喜彦,石島達夫（金沢大学）,渡邉　周,中村圭太郎（日清製粉グループ本社）

PST-12-016	高圧力・膜厚均一を目指したCVD用アレイ型プラズマ源
	○星島一輝,中島義晴,木村憲明（大阪大学）

PST-12-017	宇宙機推進のための永久磁石を用いたヘリコンプラズマ源の開発
	○松岡健之,船木一幸（宇宙航空研究開発機構）,篠原俊二郎（東京農工大学工学研究院）,谷川隆夫（東海大学・総合科学技術研究所）,佐藤周平,藤野貴康（筑波大学大学院）,中村隆宏（東京農工大学工学府）,羽田　亨（九州大学総合理工学研究院）,ShamraiKonstantin. P（Institute for Nuclear Research, Ukraine）,西田浩之（東京農工大学工学研究院）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　11:00〜12:00　テーマ「セッション５」
座長　佐藤　直幸（茨城大学）

PST-12-024		低電力大気圧マイクロ波プラズマ溶射による硬質クロム皮膜作製
		◎AHMAD REDZA BIN AHMAD MOKHTAR,安井　利明,福本　昌宏（豊橋技術科学大学）

PST-12-019	DLC成膜向けハイパワーパルスマグネトロンスパッタ放電の特性
	◎西村亮太郎,木村高志（名古屋工業大学）

PST-12-006	大気圧メゾプラズマの酸化・還元処理への利用
	◎田上英人,西尾　啓,須田善行,滝川浩史（豊橋技術科学大学）,志岐　肇（大研化学工業）,尾ノ井正裕（金属技研）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　13:00〜14:20　テーマ「セッション６」
座長　金　載浩（産業技術総合研究所）

PST-12-021	アーク放電で合成した炭素ナノ材料を用いた電気二重層キャパシタの作製
	◎泉　陽嵩,須田善行,滝川浩史,田上英人（豊橋技術科学大学）,植　仁志（東海カーボン）,青柳伸宜,大川　隆（大研化学工業）,清水一樹（湘南合成樹脂製作所）

PST-12-022	ノズル形状の異なるパルスプラズマ推進機の性能に関する研究
	◎佐々木脩任,根城安伯（八戸工業大学大学院工学研究科）

PST-12-023	パルス型プラズマスラスタのレイトタイムアブレーション持続時間の評価
	◎清水一樹,宮坂武志,安里勝雄,阪口直也,伊藤啓二,佐々木太朗（岐阜大学）

PST-12-018			Tiの粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスによる薄膜の作製
			○川崎仁晴,大島多美子,猪原武士,柳生義人,須田義昭（佐世保工業高等専門学校）

（豊橋技術科学大学）　5月11日（金）　15:20〜17:00　テーマ「セッション７」
座長　宮坂　武志（岐阜大学）

PST-12-025	ホール型イオンスラスタの大電力・高比推力作動
	◎三藤陽平,杉本　成,加藤優貴,山本　怜,田原弘一（大阪工業大学）

PST-12-026	低毒性推進剤を用いた直流アークジェットスラスタの性能特性
	◎松本和真,杉村勇也,藤田雄也,田原弘一（大阪工業大学）

PST-12-027	〔欠番〕

PST-12-028	Studies of ozone decomposition by surface catalytic dissociation at the inner electrode surface of a cylindrical barrier discharge ozonizer
	○SungTa-Lun,TeiiShinriki,LiuChung-Ming,HsiaoRuey-Chang,ChenPao-Chi（Department of Chemical and Materials Engineering）,ShigeruOno（Department of Electrical Engineering）,WuYu-Heng,YangChi-Kai（Agricultural Research Institute, Taiwan）,EbiharaKenji（Environment and Energy Laboratory, Japan）,TeiiKungen（Department of Electrical and Materials Science ）

PST-12-005	電子状態モニタ用マイクロ波共振器プローブの小型化
	○中村圭二,熊崎恵未,菅井秀郎（中部大学）