|
（A会場/国際交流ホールI） 6月11日（月） 10:20〜12:00 テーマ「マイクロマシン・センサシステム一般」 |
|
座長 金森義明（東北大学）
|
| |
| MSS-12-001 |
湿潤オゾンによるSU-8の完全除去と高速除去条件の探索 |
| ◎吉田慎哉,原島卓也,江刺正喜,田中秀治（東北大学） |
| |
| MSS-12-002 |
Al2O3-RuOxハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討 |
| ◎西野 仁,吉田慎哉,熊野勝文,江刺正喜（東北大学） |
| |
| MSS-12-003 |
電磁誘導によるMEMSアクチュエータの動作モニタ |
| 渡部善幸,小林誠也,◎岩松新之輔,矢作 徹（山形県工業技術センター）,佐藤勝裕,大泉則一（ミツミ電機） |
| |
| MSS-12-004 |
微細周期構造による濡れ制御に関する基礎的研究 |
| ◎佐々木優聡,金子康夫,山口昌樹（岩手大学） |
| |
| MSS-12-005 |
赤外線用マイクロレンズアレイ製作におけるグレースケールリソグラフィプロセスの改善 |
| ◎一色 淳,山崎 陵（立命館大学大学院）,木股雅章（立命館大学） |
| |
|
（A会場/国際交流ホールI） 6月11日（月） 13:10〜15:30 テーマ「マイクロマシン・センサシステム一般」 |
|
座長 鈴木健一郎（立命館大学）
|
| |
| MSS-12-006 |
水素アニールによるラフネス低減における雰囲気依存性 |
| ◎阿部洋輔,金森義明,羽根一博（東北大学） |
| |
| MSS-12-007 |
金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製 |
| 西野 聡,◎菅野公二（京都大学）,武中能子（産業技術総合研究所）,平井義和,土屋智由,田畑 修（京都大学） |
| |
| MSS-12-008 |
高感度SERS分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析 |
| ◎片山 拓,菅野公二,平井義和,土屋智由,田畑 修（京都大学） |
| |
| MSS-12-009 |
マイクロアクチュエータを用いた間隙可変シリコンカプラースイッチの特性評価 |
| ◎宗正 康（東北大学 ）,秋浜祐太,金森義明,羽根一博（東北大学） |
| |
| MSS-12-010 |
バイオアクチュエータ融合型フローレギュレータの開発 |
| ◎永井萌土,松本伸賢,小栗有寛,川島貴弘,柴田隆行（豊橋技術科学大学） |
| |
| MSS-12-011 |
ツリガネムシの繊毛による層流の能動的混合 |
| ◎早坂 陽,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行（豊橋技術科学大学） |
| |
| MSS-12-012 |
食品由来のエタノールガスの高感度可視化計測システムを関する研究 |
| ◎荒川貴博,王 シン,安藤恵理,宮島久美子,工藤寛之,三林浩二（東京医科歯科大学） |
| |
|
（A会場/国際交流ホールI） 6月12日（火） 10:00〜12:00 テーマ「シミュレーションを活用したトップダウンMEMS解析設計技術」 |
|
座長 北川章夫（金沢大学）
|
| |
| MSS-12-013 |
ステルスダイシングを利用した埋め込み式予約素子分離法 |
| ◎木原泰樹,久保田雅則,森下賢志,百瀬 健,近藤愛子,霜垣幸浩,三田吉郎（東京大学） |
| |
| MSS-12-014 |
ＳＯＩ基板上のメサ分離型標準バルクCMOS素子の絶縁耐圧評価 |
| ◎平川 淳,森下賢志,三田吉郎（東京大学） |
| |
| MSS-12-015 |
環境にばらまくセンサネットワーク素子実現に関する一考察 |
| ◎森 功,久保田雅則,三田吉郎（東京大学） |
| |
| MSS-12-016 |
光硬化ポリイミドを用いた繊毛アクチュエータのＣＭＯＳポストプロセス作製 |
| ◎マラペールジュリアン,森下賢志,安宅 学,藤田博之,三田吉郎（東京大学） |
| |
| MSS-12-017 |
センスアンプを用いたReRAMの書き込み抵抗の制御と多値記録への応用 |
| ○中山和也,半田貴也,申 東源,北川章夫（金沢大学） |
| |
| MSS-12-018 |
ラジカルセンサの提案と回路実装に関する検討 |
| ◎河合一樹（金沢大学大学院）,北川章夫（金沢大学） |
| |
|
（A会場/国際交流ホールI） 6月12日（火） 13:00〜14:20 テーマ「マイクロマシン・センサシステム一般」 |
|
座長 三田吉郎（東京大学）
|
| |
| MSS-12-019 |
超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化 |
| ◎綿屋孝祐,宮口 裕,室山真徳,田中秀治（東北大学）,小島 明（（株）クレステック）,池上尚克（東京農工大学）,吉田 孝,江刺正喜（東北大学） |
| |
| MSS-12-020 |
ＬＳＩ一体型赤外線リニアセンサアレイの開発 |
| ◎平田泰之,木内万里夫,松岡 元（住友精密工業）,小野崇人（東北大学） |
| |
| MSS-12-021 |
スマートフォン計測用低電圧CMOS差動増幅回路の評価 |
| ◎川村恭平,松本佳宣（慶應義塾大学） |
| |
| MSS-12-022 |
有機薄膜トランジスタ（TFT）を利用したMEMS加速度センサ |
| ◎北村健太朗,鈴木昌人,高橋智一,青柳誠司（関西大学） |
| |