| マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 〔委 員 長〕 | 羽根一博（東北大学） | |
| 〔幹 事〕 | 金森義明（東北大学） | |
| 日 時 | 2013年8月8日（木） 11:30〜15:40 | |
| 場 所 | 東京工科大学 蒲田キャンパス（東京都大田区西蒲田5-23-22，交通：JR京浜東北線・東急池上線・東急多摩川線「蒲田」駅西口より徒歩2分。詳細は次のURLをご参照ください。http://www.teu.ac.jp/campus/access/006648.html） | |
| 議 題 | テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術及び一般」 | |
| （会場D） 8月8日（木） 11:30〜12:30 テーマ「マイクロマシン・センサシステム1」 | |
| 座長 肥後昭男（東北大学） | |
| MSS-13-001 | アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの基礎検討 |
| ◎佃 真文,山根大輔（東京工業大学）,小西敏文,松島隆明（NTTアドバンステクノロジ）,加賀谷賢,伊藤浩之,石原 昇（東京工業大学）,年吉 洋（東京大学）,町田克之（NTTアドバンステクノロジ）,益 一哉（東京工業大学） | |
| MSS-13-002 | 可動シリコン導波路を用いたディスク型光共振器の結合効率制御 |
| ○金森義明,佐藤裕一,羽根一博（東北大学） | |
| MSS-13-003 | 近赤外域における擬似電磁誘起透明化メタマテリアルの製作 |
| ◎穂苅遼平,金森義明,羽根一博（東北大学大学院） | |
| （会場D） 8月8日（木） 13:40〜14:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステム2」 | |
| 座長 菅野公二（神戸大学） | |
| MSS-13-004 | 極微小静電くし駆動アクチュエータを用いたシリコンフォトニック導波路スイッチの応答時間 |
| ChuManh Hoang,阿部翔太郎,宗正 康,佐々木敬,○羽根一博（東北大学） | |
| MSS-13-005 | BiFeO3強誘電体薄膜を用いた圧電型振動発電デバイスの作製とその評価 |
| ○村上修一（大阪府立産業技術総合研究所）,吉村 武,若園佳佑,苅谷健人,藤村紀文（大阪府立大学大学院） | |
| MSS-13-006 | 電気触覚ディスプレイ用微小針電極アレイ |
| ◎シムジュリアン,北村謙英,三木則尚（慶應義塾大学） | |
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（会場D） 8月8日（木） 14:40~15:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステム3」 |
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| 座長 金森義明（東北大学） | |
| MSS-13-007 | MEMS技術を用いた音波の熱的な検知に関する研究 |
| ◎施 英漢,三田吉郎,久保田雅則（東京大学） | |
| MSS-13-008 | 熱位相遅れを用いた薄膜物質の厚さの非破壊計測 |
| ◎鈴木崇大（東京大学大学院）,市川安孝,高畑智之,松本 潔,下山 勲（東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻） | |
| MSS-13-009 | 集束イオンビームを用いたグラフェンの片持ち梁構造への加工 |
| ◎松井一真,稲葉 亮,竹井裕介,髙畑智之,松本 潔,下山 勲（東京大学） | |
| ※ | 1件当り20分(質疑応答を含む) |
| ※ | 8/8（木）16:00～17:40にA会場にて特別講演を開催します |
| ※ | 8/8（木）18:00～19:30に懇親会を開催します |