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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月5日（木） 13:00〜15:00 テーマ「膜堆積」 |
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座長 嘉数 誠（佐賀大学）
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| PST-13-074 |
ICP支援DCマグネトロン放電における気体温度・準安定Ar原子密度のレーザー吸収分光計測 |
| 松田良信,◎坂口侑也,秋葉駿佑,篠原正典（長崎大学） |
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| PST-13-075 |
RFマグネトロンスパッタリング２段階成膜によるAZO膜抵抗率分布の均一性改善 |
| ◎横山宏信,中島祟迫,篠原正典,松田良信（長崎大学） |
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| PST-13-076 |
Si結晶への水素プラズマの照射効果の赤外分光解析 |
| ○篠原正典,丸野尚紀,谷口 雄二郎,八木 翔平,津村高成,松田良信,藤山 寛（長崎大学） |
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| PST-13-077 |
クラスタ抑制法を用いた高光安定アモルファスシリコンPIN太陽電池の作製 |
| ○古閑一憲,橋本優史,金 淵元,都甲 将,内田儀一郎,徐 鉉雄,板垣奈穂,白谷正治（九州大学） |
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| PST-13-078 |
粉体ターゲットを用いたプラズマプロセスの電子密度計測 |
| ◎竹市悟志,川崎仁晴,大島多美子,猪原武士,柳生義人,須田義昭（佐世保工業高等専門学校） |
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| PST-13-079 |
粉体ターゲットを用いたレーザアブレーション法による薄膜作製 |
| ◎谷山大地,大島多美子,川崎仁晴,須田義昭,柳生義人,猪原武士（佐世保工業高等専門学校） |
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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月5日（木） 15:20〜17:20 テーマ「炭素薄膜，窒化膜」 |
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座長 古閑一憲（九州大学）
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| PST-13-080 |
マイクロ波プラズマCVD成長ダイヤモンドを用いたパワー高周波FET |
| ○嘉数 誠（佐賀大学大学院） |
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| PST-13-081 |
ダイヤモンド単結晶のX線トポグラフィ評価、マイクロ波プラズマCVD成長と高圧高温合成の比較 |
| ◎村上竜一（佐賀大学院工学系研究科）,桝谷聡士,原田和也（佐賀大学理工学部）,嘉数 誠（佐賀大学院工学系研究科）,角谷 均（住友電工株式会社） |
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| PST-13-082 |
炭素ナノウォールのプラズマCVD合成と電界放出特性評価 |
| ◎青木智宏,山口亮太,堤井君元（九州大学） |
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| PST-13-083 |
ベンゼンを原料として用いたアモルファス炭素膜の堆積過程の赤外分光解析 |
| ◎谷口 雄二郎,八木翔平,丸野 尚紀,篠原正典,松田良信,藤山 寛（長崎大学） |
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| PST-13-084 |
反応性ガスを添加したハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング放電により作製されたDLC膜の特性 |
| ○木村高志,西村亮太郎（名古屋工業大学） |
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| PST-13-085 |
大気圧プラズマジェットを用いた鉄鋼の浸窒焼入れ法の開発 |
| ◎井上貴史,市來龍大,山本宏文（大分大学）,吉田昌史（静岡理工大学）,赤峰修一,金澤誠司（大分大学） |
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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月6日（金） 9:30〜11:30 テーマ「プラズマ基礎」 |
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座長 赤塚 洋（東京工業大学）
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| PST-13-086 |
有人火星探査用大電力電磁加速プラズマスラスタの開発研究 |
| ◎久保田太輔,湖山典英,鈴木智也,田原弘一（大阪工業大学） |
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| PST-13-087 |
大阪工業大学プラズマエンジン搭載超小型人工衛星プロイテレスの打ち上げと運用状況 |
| ◎上村拓也,山崎敬史,恵上直樹,池田知行,田原弘一（大阪工業大学） |
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| PST-13-088 |
プラズマウィンドウを用いた差動排気システムの開発 |
| ◎久保木浩功,奥野広樹（理化学研究所仁科加速器研究センター）,HershcovitchAdy（ブルックヘブン国立研究所）,池上九三男,今尾浩士,加瀬昌之,上垣外修一,段塚知志,中川孝秀,長谷部裕雄,眞家武士,矢野安重（理化学研究所仁科加速器研究センター） |
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| PST-13-089 |
高電圧発生コッククロフト・ウォルトン回路の動作原理 |
| ○福山隆雄（長崎大学）,杉原慶一（愛媛大学） |
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| PST-13-090 |
負の電位揺動を持つイオン音波衝撃波 ～シースの物理との関連性～ |
| ○市來龍大,金澤誠司（大分大学）,河合良信（九州大学） |
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| PST-13-091 |
直線ECRプラズマにおける間欠的電子バースト |
| ○吉村信次（核融合科学研究所）,寺坂健一郎,田中瑛貴（九州大学）,荒巻光利（名古屋大学）,田中雅慶（九州大学） |
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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月6日（金） 13:00〜15:00 テーマ「プラズマ基礎，大気圧への応用」 |
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座長 市來龍大（大分大学）
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| PST-13-092 |
光科学の導入による新しいプラズマ物理研究 |
| ○田中雅慶,寺坂健一郎（九州大学）,荒巻光利（名古屋大学）,吉村信次（核融合科学研究所） |
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| PST-13-093 |
大気圧ストリーマ放電において発生する衝撃波の再現とそれがラジカルに与える影響の検証 |
| ◎小室淳史,小野 亮（東京大学） |
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| PST-13-094 |
アークジェットプラズマ中に発生する衝撃波の電子温度・密度計測 |
| ◎熊川銀河,難波愼一,梢 和樹,遠藤琢磨,多幾山憲（広島大学）,江角直道（長野高等専門学校）,田村直樹（核融合科学研究所） |
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| PST-13-095 |
質料分析法によるHe+H2O系マイクロホローカソード放電における活性種の生成機構に関する研究 |
| ◎池野真悟,片田裕也,難波愼一,多幾山憲（広島大学大学院工学研究科）,竹之下一利（サムスン横浜研究所）,野島秀雄（サムスン電子） |
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| PST-13-096 |
大気圧マイクロ波プラズマの上流部を用いたポリイミドの親水化処理 |
| 千葉隼人,小松昌太郎,○小野 茂（東京都市大学） |
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| PST-13-097 |
液体電極を用いた大気圧グロー放電の特性の周辺ガスによる影響 |
| ◎白井直機,下川雄大,青木拓也,内田 諭,杤久保文嘉（首都大学東京） |
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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月6日（金） 15:20〜17:20 テーマ「バイオへの応用」 |
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座長 吉村信次（核融合科学研究所）
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| PST-13-098 |
拡散共平面バリア放電を用いた大気圧プラズマの生成 |
| ○赤松 浩（神戸市立工業高等専門学校） |
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| PST-13-099 |
植物種子へのプラズマ照射及びUV光照射による成長促進 |
| ◎内田詳平,小野大帝,田中昭匡（九州大学）,板良敷朝将（サラヤ）,北崎 訓,林 信哉（九州大学） |
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| PST-13-100 |
オゾンのUV光分解による活性酸素種を用いたチューブ内滅菌 |
| ◎田中昭匡,内田詳平,小野大帝（九州大学）,板良敷朝将（サラヤ）,北崎 訓,林 信哉（九州大学） |
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| PST-13-101 |
低圧プラズマ照射による植物細胞の抗酸化特性の評価 |
| ◎小野大帝,内田詳平,田中昭匡（九州大学）,板良敷朝将（サラヤ）,北崎 訓,林 信哉（九州大学） |
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| PST-13-102 |
有機化合物水溶液に及ぼすプラズマガスの効果 |
| 廣谷太佑,○湯地敏史,津田 勇,清田佑一,中林 健一,木之下広幸,岡村好美（宮崎大学）,青木慎二（ADTECプラズマテクノロジ ー） |
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| PST-13-103 |
自己組織化膜と液中プラズマとの反応の赤外分光解析 |
| ◎吉田裕太,丸野尚紀,篠原正典,松田良信,藤山 寛（長崎大学） |
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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月7日（土） 9:00〜11:00 テーマ「バイオ応用，プラズマ計測」 |
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座長 湯地敏史（宮崎大学）
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| PST-13-104 |
放電プラズマを用いたCO2の活性化 とF-T合成への応用 |
| ◎芦刈一郎,中越 修,田辺秀二（長崎大学大学院工学研究科） |
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| PST-13-105 |
誘電体バリア放電プラズマ照射によって脂質二重膜に形成される構造 |
| ○須田善行,加藤 諒,田上英人,滝川浩史,手老龍吾（豊橋技術科学大学） |
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| PST-13-106 |
特性インピーダンスモニタリングによる異常検出の試み |
| ◎本村大成,笠嶋悠司,福田 修,上杉文彦（産業技術総合研究所）,栗田裕之,木村直也（アドバンテスト） |
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| PST-13-107 |
量産用プラズマエッチング装置における剥離パーティクルの突発的多量発生 |
| ◎笠嶋悠司,鍋岡奈津子,本村大成,上杉文彦（産業技術総合研究所） |
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| PST-13-108 |
レーザ生成EUV光源用スズプラズマの協同的トムソン散乱計測 |
| ◎下田 諒,西川和孝,富田健太郎,内野喜一郎（九州大学） |
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| PST-13-109 |
レーザトムソン散乱法によるVHFアルゴンプラズマの診断 |
| ◎神家幸一郎,陳 韋廷,荻原公平,富田健太郎,内野喜一郎,河合良信（九州大学） |
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（長崎大学総合研究棟多目的ホール） 9月7日（土） 11:20〜12:40 テーマ「プラズマ計測」 |
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座長 笠嶋悠司（産業技術総合研究所）
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| PST-13-110 |
マイクロ波放電N2-O2混合気体放電プラズマ中のNO分子ガンマバンドスペクトルと振動回転温度の決定 |
| ◎譚 浩,根津 篤,松浦治明,赤塚 洋（東京工業大学） |
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| PST-13-111 |
レーザー誘起ブレークダウン分光法による固体試料組成分析 |
| ◎原田昌治,堂薗 賢,二宮就志,田中大平,池上知顯,光木文秋（熊本大学） |
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| PST-13-112 |
LIBSによる溶液試料中の微量元素分析 |
| ◎田島由衣,池上知顯（熊本大学大学院自然科学研究科） |
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| PST-13-113 |
小型大電力パルスペニング放電プラズマのダブルプローブ測定 |
| ○東 欣吾,枝川和磨,井上祐輔（兵庫県立大学） |
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