| （D会場（As棟3階中セミナー室4 As311-312,）） 5月27日（火） 10:00〜12:20 テーマ「MSS一般セッション」 |
| 座長 寒川雅之（新潟大学）,肥後昭男（東北大学） |
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| MSS-14-001 |
DRIE技術によるチタン製微小手術針の開発 |
| ◎南 佑人,山田周史,寒川雅之,安部 隆（新潟大学） |
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| MSS-14-002 |
集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討 |
| ◎山根大輔（東京工業大学）,松島隆明,小西敏文（NTTアドバンステクノロジ）,年吉 洋（東京大学）,町田克之（NTTアドバンステクノロジ）,益 一哉（東京工業大学） |
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| MSS-14-003 |
素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発 |
| ◎金子亮介,吉田慎哉,室山真徳,宮口 裕,江刺正喜,田中秀治（東北大学） |
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| MSS-14-004 |
共振振動を用いた焦点可変マイクロミラーの変形特性最適化 |
| ◎中澤謙太,佐々木敬,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-14-005 |
〔欠番〕 |
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| MSS-14-006 |
高い波長選択性を持つMEMS Fabry-Perot干渉計を用いた表面応力センサ |
| ◎桝屋善光,高橋一浩,小澤 遼,飛沢 健,石田 誠,澤田和明（豊橋技術科学大学） |
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| MSS-14-023 |
ナノポーラスSiO2を用いた高機能エレクトレットの開発および振動発電デバイスへの応用 |
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鈴木昌人,抽冬実典,高橋智一,青柳誠司（関西大学） |
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| （C会場（An棟４階中セミナー室1 An401-402）） 5月27日（火） 10:20〜12:00 テーマ「企画セッション：メタマテリアル・プラズモニクスおよびマイクロ・ナノ構造のフォトニクス・電デバイス応用(1)」 |
| 座長 金森義明（東北大学）,菅野公二（神戸大学） |
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| MSS-14-007 |
可視域におけるマイクロ軸対称偏光子アレイのための金ナノスリット光学位相子 |
| ◎石井美帆,岩見健太郎,梅田倫弘（東京農工大学） |
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| MSS-14-008 |
熱バイモルフを利用したアクティブナノスリット光学位相変調器 |
| ◎志村 崇,石井美帆,岩見健太郎,梅田倫弘（東京農工大学） |
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| MSS-14-009 |
ナノスリットを有するショットキー型表面プラズモン検出器の感度向上 |
| ◎武田愛弓,相原卓磨,福原誠史,石井佑弥,福田光男 （豊橋技術科学大学） |
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| MSS-14-010 |
検出器構造を有する低損失表面プラズモン導波路 |
| ◎太田 雅,福原誠史,酒井宏基,相原卓磨,石井佑弥,福田光男（豊橋技術科学大学） |
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| MSS-14-011 |
一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価 |
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菅野 公二（神戸大学）,松井大門,土屋智由,田畑 修（京都大学） |
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| （C会場（An棟４階中セミナー室1 An401-402）） 5月27日（火） 13:20〜16:00 テーマ「企画セッション：メタマテリアル・プラズモニクスおよびマイクロ・ナノ構造のフォトニクス・電デバイス応用(2)」 |
| 座長 菅野公二（神戸大学）,肥後昭男（東北大学） |
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| 依頼講演 |
フォトニック構造・プラズモニック構造を用いた薄膜シリコン太陽電池の高性能化 |
| 齊 均,水野英範,吉田功,松原浩司（産業技術総合研究所） |
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| 依頼講演 |
中性粒子ビームによるグラフェンの微細加工 |
| 岡田健（東北大学） |
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| MSS-14-012 |
近赤外域にFano共鳴をもつ光メタマテリアルの作製とQ値解析 |
| ◎森竹勇斗,金森義明,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-14-013 |
擬似電磁誘起透明化が生じる光メタマテリアルの製作と位相差解析 |
| ◎穂苅遼平,金森義明,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-14-014 |
強磁性金属カイラルメタ分子の作製とマイクロ波応答 |
| ◎児玉俊之,冨田知志,細糸信好,柳 久雄（奈良先端科学技術大学院大学） |
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| MSS-14-015 |
サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計 |
| ◎磯崎瑛宏,菅 哲朗,高橋英俊（東京大学）,神田夏輝（理化学研究所）,根本夏紀,小西邦昭,五神 真,松本 潔,下山 勲（東京大学） |
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| MSS-14-016 |
可変ＭＥＭＳメタマテリアルによる右手／左手系複合伝送線路トランスミッションライン |
| ◎羅 勇,韓 正利,藤田博之,廣瀬 明,年吉 洋（東京大学） |
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| MSS-14-017 |
静電駆動カンチレバーによるＭＥＭＳスプリットリング共 振子アレイのテラヘルツ可変フィルタ応用 |
| ◎韓 正利,河野健太（東京大学）,Makela Tapio,Haatainen Tomi（VTT Microsystems and Nanoelectronics）,平川一彦,藤田博之,年吉 洋（東京大学） |
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