| （会場3（中ホール3）） 7月3日（金） 9:20〜10:20 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術(1)」 |
| MSS-15-015 |
マルチフィジクス・シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討 |
| ○小西敏文（NTTアドバンステクノロジ）,三田 信（宇宙航空研究開発機構）,藤田博之（東京大学）,町田克之（NTTアドバンステクノロジ）,年吉 洋（東京大学） |
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| MSS-15-016 |
真空蒸着Eu(TTA)３薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー |
| ◎王 敏,塚本貴城,田中秀治（東北大学） |
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| MSS-15-017 |
異なる市販ゾルを用いたゾル・ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価 |
| ○森山雅昭,田中秀治（東北大学） |
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| MSS-15-018 |
熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化 |
| ◎田川侑弥,信濃耀介,寒川雅之,安部 隆（新潟大学） |
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| （会場3（中ホール3）） 7月3日（金） 10:45〜11:45 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術(2)」 |
| MSS-15-019 |
スマートフォン型PM2.5モバイル計測器の開発と評価 |
| ◎原田優介,松本佳宣（慶應義塾大学） |
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| MSS-15-020 |
低消費電力心拍抽出ASIC及びアナログフロントエンド |
| ◎藤原 潤,松田貴文,松本裕貴,神田健介,藤田孝之,前中一介（兵庫県立大学） |
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| MSS-15-021 |
静電型エナジーハーベスタの任意振動に対する構造最適化 |
| ◎三輪谷直輝,藤田孝之,南 啓大,園田晃司,神田健介,前中一介（兵庫県立大学） |
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| MSS-15-022 |
CYTOP／パリレン積層エレクトレットの性能評価 |
| ○鈴木昌人,下木崎誠,高橋智一,青柳誠司（関西大学） |
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| （会場1（中ホール1）） 7月3日（金） 10:45〜11:45 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術(3)/メタマテリアル・プラズモニクスおよびマイクロ・ナノ構造のフォトニクス・電子デバイス応用(1)」 |
| MSS-15-023 |
ピエゾ抵抗変位センサを集積した共振型焦点可変ミラーの製作と評価 |
| ◎中澤謙太,佐々木敬（東北大学）,古田裕正,神谷二朗,神谷東志一（パナソニックデバイスSUNX）,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-15-024 |
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築 |
| ◎宇野亜季子,ビジー クマールシン,平井義和,土屋智由,田畑 修（京都大学） |
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| MSS-15-025 |
静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作 |
| ◎本間浩章,高橋一浩,石田 誠,澤田和明（豊橋技術科学大学） |
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| MSS-15-026 |
ＭＥＭＳスプリットリング共振子アレイを用いたテラヘルツ光可変フレネルレンズ |
| ◎韓 正利,河野健太,平川一彦,藤田博之,年吉 洋（東京大学） |
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| （会場3（中ホール3）） 7月3日（金） 13:00〜14:45 テーマ「メタマテリアル・プラズモニクスおよびマイクロ・ナノ構造のフォトニクス・電子デバイス応用(2)」 |
| 依頼講演 UVナノインプリント法で作製したCO2センサ用メタ表面熱放射赤外光源 |
| 宮崎英樹（物質・材料研究機構 ） |
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| 依頼講演 準周期メタマテリアルによる輻射制御 |
| 中山和之（福岡大学） |
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| MSS-15-027 |
テラヘルツ波領域におけるメタマテリアル・アブソーバの吸収特性 |
| ◎石井雄大,金森義明（東北大学）,瀧田佑馬,南出泰亜（理化学研究所）,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-15-028 |
THz領域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と評価 |
| ◎中村健太,穂苅遼平,金森義明,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-15-029 |
ゼロ近傍誘電率を有する金属スリットアレーのモードマッチング法解析と凹レンズ構造によるテラヘルツ波の集光 |
| ◎木村辰也（茨城大学大学院 ）,富樫隆久（茨城大学大学院）,北原英明（福井大学）,石原功基,佐藤竜也,鈴木健仁（茨城大学大学院） |
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| （会場3（中ホール3）） 7月3日（金） 15:10〜16:25 テーマ「メタマテリアル・プラズモニクスおよびマイクロ・ナノ構造のフォトニクス・電子デバイス応用(3)」 |
| MSS-15-030 |
多重Fano共鳴をもつ光メタマテリアルの製作と評価 |
| ◎森竹勇斗,金森義明,羽根一博（東北大学） |
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| MSS-15-031 |
帯電ナノ微粒子の自己組織的配列構造を鋳型としたプラズモニックカラーフィルタ形成 |
| ○青木画奈,米山貴之,藤井 稔（神戸大学） |
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| MSS-15-032 |
直線状金ナノ粒子配列の表面増強ラマン分光特性 |
| 竹下俊光,池上晃平,○菅野公二,磯野吉正（神戸大学） |
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| MSS-15-033 |
マイクロキャビティ構造に基づいた熱ふく射スペクトル準単色化 |
| ◎小桧山朝華,清水 信,井口史匡,湯上浩雄（東北大学） |
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| MSS-15-034 |
熱放射スペクトル制御による電子デバイスの受動型熱制御 |
| ◎津田慎一郎,清水 信,井口史匡,湯上浩雄（東北大学大学院） |
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