| （B会場（大集会室）） 6月30日（木） 9:20〜10:20 テーマ「フィジカルセンサ（１）」 |
| 座長 山下 馨（京都工芸繊維大学） |
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| PHS-16-013 |
斜面崩壊予知を目指した親水性土壌インピーダンスセンサの開発 |
| ◎小笠原慎,伊藤 巽,平野 陽豊（静岡大学）,國井有巳（ラピスセミコンダクタ宮城）,渡辺 実（ラピスセミコンダクタ）,鈴木彦文,不破 泰（信州大学）,竹下祐二,小松 満（岡山大学）,二川雅登（静岡大学） |
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| PHS-16-014 |
近接覚・触覚コンボセンサにおける周波数変調プローブ光を用いた 近接計測手法の検討 |
| ◎梅木 尚,野沢瑛斗,安部 隆（新潟大学）,奥山雅則（大阪大学）,野間春生（立命館大学）,寒川雅之（新潟大学） |
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| PHS-16-015 |
高周波キャリア型薄膜磁気センサを用いた微粒子異物の検出 |
| ○中居倫夫（宮城県産業技術総合センター） |
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| （B会場（大集会室）） 6月30日（木） 10:45〜12:05 テーマ「フィジカルセンサ（２）」 |
| 座長 工藤寛之（明治大学） |
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| PHS-16-016 |
スパッタ成膜で作製したPZT薄膜の熱処理に伴う剥離の抑制に関する検討 |
| ◎斎藤彰人（金沢工業大学大学院）,池永訓昭（金沢工業大学） |
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| PHS-16-017 |
圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサ用PZT薄膜のゾル・ゲル仮焼成温度に対する残留応力評価 |
| ◎塩見 丈,山下 馨,荒井開人,西海太貴,野田 実（京都工芸繊維大学） |
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