マイクロマシン・センサシステム研究会

	〔委 員 長〕	小野崇人（東北大学）
	〔幹　　事〕	金森義明（東北大学）
日　時	2016年6月29日（水）　13:40〜15:00
	2016年6月30日（木）　13:20〜15:00
場　所	金沢市文化ホール
議　題	テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」

  

（C会場（大会議室））　6月29日（水）　13:40〜15:00　テーマ「マイクロマシン・センサシステム1」
座長　金森義明（東北大学）
MSS-16-009	焦電効果を用いた高温環境用静電アクチュエータの特性評価
	◎尾﨑隼人,神田岳文（岡山大学）
MSS-16-010	Ni-W合金を用いたマイクロ熱電子発電素子のためのめっき膜低応力化
	◎河田晋弥,岩見健太郎,梅田倫弘（東京農工大学）
MSS-16-011	3次元光走査のための単一3自由度ミラーおよびレンズを用いた光学系設計（※資料への掲載はございません）
	○高橋悠人,岩瀬英治（早稲田大学）
MSS-16-012	金ナノグレーティング構造の静電駆動による光位相変調
	◎木下卓哉,志村　崇,石井美帆,岩見健太郎,梅田倫弘（東京農工大学）

（D会場（第５，６会議室））　6月30日（木）　13:20〜15:00　テーマ「マイクロマシン・センサシステム2」
座長　岩瀬英治（早稲田大学）
MSS-16-013	反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ
	◎諏訪　亘,猪股直生,小野崇人（東北大学）
MSS-16-014	128 × 96画素並列16 bit出力３次元構造CMOSイメージセンサ
	○後藤正英,萩原　啓,本田 悠葵,渡部 俊久,難波 正和,井口 義則（ＮＨＫ放送技術研究所）,更屋 拓哉,小林 正治,日暮 栄治,年吉 洋,平本 俊郎（東京大学）
MSS-16-015	薄膜シリコンの破断における切り欠き形状がき裂進展に与える影響
	◎中村真也,安藤妙子,上野晃平（立命館大学）
MSS-16-016	水晶発振回路を用いた2チャンネル型非接触液体センサの開発
	◎矢田直人,寒川雅之,安部　隆（新潟大学）
MSS-16-017	片面励起型振動子を用いた無線発振式QCMの電極形状の最適化
	◎坂口　淳,寒川雅之,安部　隆（新潟大学）