| マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 小野崇人（東北大学） | ||
| 〔幹 事〕 | 金森義明（東北大学） | |
| 日 時 | 2017年6月29日（木） 14:30〜15:50 | |
| 2017年6月30日（金） 14:15〜15:55 | ||
| 場 所 | イーグレひめじ | |
| 後 援 | 姫路市 | |
| 議 題 | テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」 | |
| （C会場） 6月29日（木） 14:30〜15:50 | |
| 座長 松永忠雄（東北大学） | |
| MSS-17-001 | Cu2Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画 |
| ◎溝尻瑞枝,近藤幸成,櫻井淳平,秦 誠一（名古屋大学大学院） | |
| MSS-17-002 | サブ波長格子を用いたTHz波用Si反射防止構造の製作 |
| ◎小杉厚貴,金森義明（東北大学）,南出泰亜（理化学研究所）,羽根一博（東北大学） | |
| MSS-17-008 | Logical gate circuits based on nanoelectromechanical switches |
| ◎ZHAO DONG,NGUYEN VAN TOAN,小野祟人（Tohoku university） | |
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結晶方位分布関数によるシリコン多結晶のピエゾ抵抗表記（※資料への掲載はございません） |
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| ○安藤 妙子,鳥山 寿之(立命館大学) | |
| （C会場） 6月30日（金） 14:15〜15:55 | |
| 座長 金森義明（東北大学） | |
| MSS-17-005 | Experimental Evaluation of Atomization Capability for High-viscosity Liquid Based on SAW Device in Olfactory Display |
| ◎Li Haining,加藤真悟,中本高道（東京工業大学） | |
| MSS-17-006 | 液輸送用のデュアルシリコンAFMプローブのためのマイクロ流路とノズル形成 |
| ◎洪 振瑞,増田雄介,三浦嘉隆（山形大学）,柴田隆行（豊橋技術科学大学）,峯田 貴（山形大学） | |
| MSS-17-007 | Au/Siバイモルフ梁を集積化したナノグレーティング光位相変調素子の光学特性評価 |
| ◎志村 崇,岩見健太郎,梅田倫弘（東京農工大学） | |
| MSS-17-009 | 磁歪材料を用いた共振型磁気センサ |
| ◎江面大河,猪股直生,小野崇人（東北大学） | |