プラズマ研究会

	〔委 員 長〕	白藤　立（大阪市立大学）
	〔幹　　事〕	市來龍大（大分大学），竹内　希（東京工業大学）
	〔幹事補佐〕	桑原拓也（日本工業大学）
日　時	2017年8月11日（金）　13:00〜16:50
	2017年8月12日（土）　9:30〜13:00
場　所	中部大学　名古屋キャンパス
共　催	IEEE 日本カウンシル　Chapter NPS-05(Nuclear and Plasma Science Society)
議　題	テーマ「プラズマ一般」

  

（中部大学名古屋キャンパス ６階大ホール）　8月11日（金）　13:00〜14:00　テーマ「薄膜プロセス」
座長　赤塚　洋（東京工業大学）
PST-17-048	大電力パルススパッタペニング放電により形成される窒化チタンのガス混合比依存性
	○東　欣吾,永井　僚（兵庫県立大学）,木村高志（名古屋工業大学）,中尾節男（産業総合技術研究所）
PST-17-049	プラズマイオン注入の応用
	◎矢内秀和,木村高志（名古屋工業大学）,中尾節男（産業総合研究所　中部センタ－）,東　欣吾（兵庫県立大学）
PST-17-050	ホロー型ターゲット構造を持つＨｉＰＩＭＳの電気特性と成膜応用
	◎吉田　涼,木村高志（名古屋工業大学）

（中部大学名古屋キャンパス ６階大ホール）　8月11日（金）　14:15〜15:15　テーマ「カーボン応用(1)」
座長　太田貴之（名城大学）
PST-17-051	HiPIMSによるSiを含むダイヤモンドライクカーボン膜の導電性
	◎柴田祐樹,木村高志（名古屋工業大学）
PST-17-052	ソリューションプラズマによるヘテロカーボンの合成と特性
	○橋見一生,ブラテスクマリア,齋藤永宏（名古屋大学）
PST-17-053	ソリューションプラズマを用いた酸化グラフェンの還元
	◎杉山剛志（東京工業大学）,竹内　希（産業技術総合研究所）

（中部大学名古屋キャンパス ６階大ホール）　8月11日（金）　15:30〜16:50　テーマ「カーボン応用(2)」
座長　木村高志（名古屋工業大学）
PST-17-054	ICISによるスパッタカーボンのイオン化
	○行村　建（栗田製作所）
PST-17-055	樹脂-Si-DLC間しゅう動における大気圧プラズマ照射による低摩擦化支援
	◎日比野孝俊,上坂裕之（岐阜大学）,奥村俊介（名古屋大学）,金　載浩,榊田　創（産業技術総合研究所）
PST-17-056	二元同時スパッタリングを用いたシリコン含有ダイヤモンドライクカーボン成膜
	◎三輪侑生,太田貴之（名城大学）,小田昭紀（千葉工業大学）,上坂裕之（岐阜大学）
PST-17-057	カーボンナノウォールを表面支援材料としたレーザー脱離イオン化質量分析法によるアミノ酸の分析
	◎伊藤寛納,太田貴之（名城大学）,石川健治,近藤博基（名古屋大学）,平松美根男（名城大学）,堀　勝（名古屋大学）

（中部大学名古屋キャンパス ６階大ホール）　8月12日（土）　9:30〜10:30　テーマ「生成・計測・診断 (1)」
座長　小川大輔（中部大学）
PST-17-058	〔欠番〕
PST-17-059	銅陰極での真空アーク放電における電流遮断時の 不安定現象の解析
	○鎌田憲嗣（King Mongkut's Universityof Technology Thonbur）,Chansri Pakpoom（King Mongkut's University of Technology Thonburi）,湯地敏史（宮崎大学, King Mongkut's University of Technology Thonburi）,Mungkung Narong（King Mongkut's University of Technology Thonburi）
PST-17-060	閾値イオン化質量分析法を用いたHe/O2大気圧プラズマジェット中の活性種の診断
	◎伊賀一憲,呉　準席,伊藤昌文,平松美根夫,太田貴之（名城大学）

（中部大学名古屋キャンパス ６階大ホール）　8月12日（土）　10:45〜11:45　テーマ「生成・計測・診断 (2)」
座長　竹内　希（産業技術総合研究所）
PST-17-061	アルゴンアークジェットプルームへのN2パフによる窒素分子B, C状態の振動・回転温度
	福川千菜,根津　篤,○赤塚　洋（東京工業大学）
PST-17-062	大口径カスケードアーク放電における高密度ヘリウムプラズマの発生
	◎岩本勇樹,上田　恵,浅野勇斗（広島大学）,田村直樹（核融合科学研究所）,難波愼一（広島大学）
PST-17-063	静的シース構造の計算に関する検討 II
	○白藤　立（大阪市立大学）,伝宝一樹（東京エレクトロン）

（中部大学名古屋キャンパス ６階大ホール）　8月12日（土）　12:00〜13:00　テーマ「ナノ粒子プロセス」
座長　白藤　立（大阪市立大学）
PST-17-064	数値シミュレーションによるAr誘導熱プラズマ中のTi蒸発に及ぼすO2の影響
	○シレガージュリアンタ,田中康規,児玉直人,石島達夫,上杉喜彦（金沢大学）
PST-17-065	原料間歇供給/変調型誘導熱プラズマ併用法を用いたSi/Cナノ粒子の一段的大量生成の試み
	◎清水光太郎,石坂洋輔,兒玉直人,穏田一輝,田中康規,上杉喜彦,石島達夫（金沢大学）,末安志織,中村圭太郎,渡邉　周（日清製粉グループ本社）
PST-17-066	気液界面プラズマを用いた銅ナノ微粒子の生成
	◎伊藤　滉,太田貴之（名城大学）,堀　勝（名古屋大学）