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（H2棟3F 多目的ホール） 7月1日（月） 13:50〜15:10 テーマ「マイクロマシン・センサシステム研究会」 |
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座長 室山 真徳（東北大学）
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| MSS-19-011 |
数MHz帯にバンドギャップを持つフォノニック結晶の作製と評価 |
| ◎頓所侑夏,猪股直生,小野崇人（東北大学） |
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| MSS-19-012 |
転写技術によりAlナノ周期構造を形成したプラズモニックカラーシートの作製 |
| ◎熊谷隼人（豊橋技術科学大学）,高橋 功,武岡真司（早稲田大学）,澤田和明（豊橋技術科学大学）,藤枝俊宣（東京工業大学）,髙橋一浩（豊橋技術科学大学） |
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| MSS-19-013 |
ナノダイヤモンドのイオン注入による蛍光強度評価 |
| 巻島 創（東北大学）,○戸田雅也,小野崇人（東北大学 大学院工学研究科） |
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| MSS-19-014 |
波長可変MEMS-VCSELにおけるMEMS凹面鏡の数学的評価 |
| ◎北川雄真,鈴木雄太,手塚信一郎（横河電機株式会社） |
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（H2棟3F 多目的ホール） 7月1日（月） 15:40〜17:20 テーマ「マイクロマシン・センサシステム研究会」 |
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座長 戸田雅也（東北大学）
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| MSS-19-015 |
ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 |
| ◎山田雄大（豊田工業大学）,閻 紀旺（慶應義塾大学）,佐々木実（豊田工業大学） |
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| MSS-19-016 |
濡れ性可変ダイアフラム上へのPDMSマッシュルーム型ナノピラーアレイの形成 |
| ◎村上雄志,三井秀之,佐藤 翼,峯田 貴（山形大学） |
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| MSS-19-017 |
金属薄膜の熱処理による塑性変形を用いたMEMSカンチレバーのたわみ調整法 |
| ◎飯島陽太,増田雄介,田中 勝（山形大学）,峯田 貴（山形大学 ） |
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| MSS-19-018 |
レーザ直接描画を用いたグレイスケールリソグラフィにおける厚膜レジストの評価 |
| ○庄子征希（東北大学）,上瀧英郎（ハイデルベルグ・インストルメンツ）,森山雅昭,戸津健太郎（東北大学） |
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| MSS-19-019 |
電解重合による新しい接着技術によるセンサ化に関する研究 |
| ○島田邦雄（福島大学） |
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（H2棟3F 多目的ホール） 7月2日（火） 9:30〜10:30 テーマ「マイクロマシン・センサシステム研究会」 |
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座長 寒川雅之（新潟大学）
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| MSS-19-020 |
水分量・イオン濃度センサ用フィードバック型インピーダンス計測回路チップの製作 |
| ◎寺岡佑起,長屋昇吾,安富啓太,平野陽豊,川人祥二,二川雅登（静岡大学） |
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| MSS-19-021 |
液滴生成および急冷が可能なマイクロ流路デバイスを用いたナノ粒子生成システムの試作 |
| ◎藤本望夢,神田岳文,大森健太郎,阪田祐作,山田嘉昭,妹尾典久,脇元修一（岡山大学）,中崎義晃,音山貴文（ナノ・キューブ・ジャパン） |
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| MSS-19-022 |
パッシブワイヤレスSAW温度センサシステム |
| ○工藤高裕,古市卓也,窪田正雄,森田 晃（富士電機）,門田道雄,田中秀治（東北大学） |
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（H2棟3F 多目的ホール） 7月2日（火） 11:00〜12:00 テーマ「マイクロマシン・センサシステム研究会」 |
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座長 山根大輔（東京工業大学）
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| MSS-19-023 |
ナノチャネルを用いた熱電変換デバイス |
| ◎宇田川大輝,グェングアントアン,猪股直生,小野崇人（東北大学） |
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| MSS-19-024 |
メタマテリアル構造を用いた振動発電デバイスにおける圧電層膜厚の最適化 |
| ◎市毛 亮,栗山頌明,海野陽平,塚本拓野,端倉弘太朗,山田 功,鈴木孝明（群馬大学） |
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| MSS-19-025 |
エレクトレット電位増強による非定常振動発電特性の向上 |
| ◎本間浩章,遠山幸也,年吉 洋（東京大学） |
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（H2棟3F 多目的ホール） 7月2日（火） 13:30〜15:10 テーマ「マイクロマシン・センサシステム研究会」 |
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座長 鈴木孝明（群馬大学）
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| MSS-19-026 |
3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討 |
| ◎市川崇志,新島宏文,古賀達也,山根大輔（東京工業大学）,飯田慎一（NTT-AT）,伊藤浩之,石原 昇,曽根正人,町田克之,益 一哉（東京工業大学） |
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| MSS-19-027 |
複雑形状物体把持制御のための複数接触部を有する触覚センサ |
| 菅 史賢,藤橋智哉,阿部由杜,安部 隆（新潟大学）,野間春生（立命館大学）,○寒川雅之（新潟大学） |
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| MSS-19-028 |
布地評価用2次元掃引型摩擦感テスタの開発 |
| ◎岩﨑亮太,三島伊吹,大橋祐也,野々村裕（名城大学） |
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| MSS-19-029 |
〔欠番〕 |
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| MSS-19-030 |
押し付け型電子部品実装における弾性体回路基板のヤング率と接触抵抗の関係の評価 |
| ◎佐藤 峻（早稲田大学）,古志知也（産業技術総合研究所）,岩瀬英治（早稲田大学） |
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（H2棟3F 多目的ホール） 7月2日（火） 15:40〜17:00 テーマ「マイクロマシン・センサシステム研究会」 |
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座長 二川雅登（静岡大学）
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| MSS-19-031 |
力・光・温度複合触覚センサを用いた濡れによる質感変化の評価 |
| ◎小塚貴暁,安部 隆,寒川雅之（新潟大学） |
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| MSS-19-032 |
触覚ディスプレイ用のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の一括形成と剛性評価 |
| ◎辻 一樹,徐 嘉楽（山形大学）,阿部 喜,清水智巨,長谷川博康（東海理化）,峯田 貴（山形大学） |
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| MSS-19-033 |
高出力触覚ディスプレイのための形状記憶合金厚膜アクチュエータアレイの形成 |
| ◎徐 嘉楽,木村友翼,辻 一樹（山形大学）,阿部 喜,清水智巨,長谷川博康（東海理化）,峯田 貴（山形大学） |
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| MSS-19-034 |
貫通裏面電極をもつ形状記憶合金厚膜アクチュエータ型触覚ディスプレイの形成 |
| ◎木村友翼,丸山 顕,徐 嘉楽,峯田 貴（山形大学） |
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