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（A会場） 7月6日（月） 9:00〜10:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」 |
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座長 寒川雅之（新潟大学）
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| MSS-20-020 |
1 MHz型空中超音波マイクロアレイセンサの開発 |
| ○田中恒久,中山健吾,村上修一（大阪産業技術研究所） |
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| MSS-20-021 |
単一Au錘3軸加速度センサのための分割容量検出2重電極に関する検討 |
| ◎市川崇志,古賀達也（東京工業大学）,飯田慎一（NTT－AT）,石原 昇,町田克之,益 一哉,伊藤浩之（東京工業大学） |
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| MSS-20-022 |
Electromagnetically Actuated Quartz Glass Ring Resonator for Mode Matched Gyroscope |
| *Muhammad Jehanzeb Khan,Takashiro Tsukamoto,Muhammad Salman Al Farisi,Tanaka Shuji(Tohoku University) |
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| MSS-20-023 |
土壌過渡応答特性を利用した土中水分量・イオン濃度計測用フィードバック型回路回路システムの開発 |
| ◎重桝竜希,寺岡佑起,大多哲史,平野陽豊,安富啓太,川人祥二,二川雅登（静岡大学） |
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| MSS-20-024 |
磁気共鳴を用いたラジカルセンシングのための磁気センサ |
| ◎椎名 司,戸田雅也,小野崇人（東北大学） |
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（A会場） 7月6日（月） 15:00〜16:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」 |
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座長 岩瀬英治（早稲田大学）
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| MSS-20-025 |
Fabrication and Characterization of Surface Covering Structures with MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor toward Practical Robot Applications |
| *Sumeyya Javaid,Chenzhong Shao,Hideki Hirano(Tohoku University),Masanori Muroyama(Tohoku Institute of Technology),Shuji Tanaka(Tohoku University) |
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| MSS-20-026 |
MEMS触覚センサの温度変化による出力信号のドリフト特性の考察 |
| ◎河内彪博,川田智晴,岡田一志（立命館大学）,寒川雅之（新潟大学）,野間春生（立命館大学） |
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| MSS-20-027 |
Tactile Sensor Module with LSI-Diaphragm Flip-Chip Bonded to Printed Circuit Board |
| ◎呉 軒儀,平野栄樹,邵 晨鐘,田中秀治（東北大学） |
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| MSS-20-028 |
小型化・低電圧化に向けた絶縁樹脂薄膜静電触覚ディスプレイの基礎検討 |
| ◎佐藤淳喜,本間 遼,安部 隆,寒川雅之（新潟大学） |
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| MSS-20-029 |
SU-8基板接合を用いたSMA厚膜アクチュエータアレイ／個別通電用TSV電極構造の触覚ディスプレイ素子の形成 |
| ◎齋藤 涼,木村友翼,徐 嘉楽,峯田 貴（山形大学 ） |
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（A会場） 7月6日（月） 17:00〜18:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」 |
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座長 神田健介（兵庫県立大学）
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| MSS-20-030 |
外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化の検討 |
| ◎川島康介,澤田宗興,田村健太郎,端山航平,山根大輔（立命館大学） |
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| MSS-20-031 |
閾値自己補償整流昇圧回路による振動発電素子の実効帯域向上 |
| ◎遠山幸也,本間浩章,年吉 洋（東京大学）,山根大輔（立命館大学, JSTさきがけ） |
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| MSS-20-032 |
接触界面に微細ピラミッド構造配列を有するトライボ発電デバイス |
| ◎柳田幸祐,飯田泰基（群馬大学）,本間浩章（東京大学）,橋口 原（静岡大学）,年吉 洋（東京大学）,鈴木孝明（群馬大学） |
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| MSS-20-033 |
チタン製カンチレバーを用いた高耐久性MEMSフォースセンサのモデル作製と評価 |
| ◎野澤慎児,大塚善久,安部 隆,寒川雅之（新潟大学） |
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| MSS-20-034 |
低侵襲医療ツール用光干渉細径変位センサ |
| ◎矢谷真樹生,李 相錫,松永忠雄（鳥取大学） |
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（A会場） 7月7日（火） 11:00〜12:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」 |
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座長 戸田雅也（東北大学）
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| MSS-20-040 |
電子顕微鏡内での引張変形観察を目的とした マイクロデバイスの開発 |
| ◎中田健介,安藤妙子（立命館大学） |
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| MSS-20-041 |
ピエゾ抵抗素子を用いた引張応力測定機構を有するナノスケール引張試験デバイスの作製 |
| ◎田中秀悟,安藤妙子（立命館大学） |
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| MSS-20-042 |
環境試験チャンバ内におけるマイクロスケールシリコンの強度測定 |
| ◎嶋村健一郎,安藤妙子（立命館大学） |
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| MSS-20-043 |
円筒面上の厚膜レジストの低温リソグラフィとNi電鋳を用いた能動カテーテル骨格部の一括形成 |
| Nur Shauqil Amin bin Muhamad Sanuzi,○峯田 貴（山形大学） |
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| MSS-20-044 |
Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成 |
| ◎吉冨恭平（長岡技術科学大学）,中村 奨（長岡工業高等専門学校）,溝尻瑞枝（長岡技術科学大学） |
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| MSS-20-045 |
フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作 |
| 山田雄大,○佐々木実（豊田工業大学） |
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