| （オンライン） 11月18日（木） 10:00〜12:10 テーマ「招待講演 1」 |
| 座長 山本哲也（高知工科大学） |
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| EFM-21-001 |
放射光を活用したデバイス表面・界面オペランドイメージング分析 |
| ○永村直佳（物質・材料研究機構/JSTさきがけ/東京理科大学） |
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| EFM-21-002 |
オングストロームビーム電子回折による非晶質材料の局所構造解析 |
| ○平田秋彦（早稲田大学） |
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| EFM-21-003 |
低線膨張率ポリイミドフィルムのフレキシブルデバイスへの応用 |
| ○奥山哲雄（東洋紡） |
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| （オンライン） 11月18日（木） 13:00〜15:00 テーマ「招待講演 2」 |
| 座長 土屋哲男（産業技術総合研究所） |
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| EFM-21-004 |
極薄MEMS技術によるフレキシブルセンサおよびハプティックMEMSの研究開発 |
| ○小林 健,竹下俊弘（産業技術総合研究所） |
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| EFM-21-005 |
酸化物半導体の低温形成技術とフレキシブルデバイス応用 |
| ◎曲 勇作（島根大学）,古田 守（高知工科大学）,葉 文昌（島根大学） |
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| EFM-21-006 |
非平衡励起反応場による酸化亜鉛薄膜の非加熱形成 |
| ○下位法弘（東北工業大学） |
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| （オンライン） 11月18日（木） 15:10〜16:25 テーマ「学生講演 1」 |
| 座長 廣芝伸哉（大阪工業大学） |
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| EFM-21-007 |
金属バッファ層を用いたペロブスカイト型酸化物薄膜の転写プロセス改善 |
| ◎水山智文（近畿大学）,廣﨑紀光（太洋工業）,西川博昭（近畿大学） |
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| EFM-21-008 |
歪み導入したアモルファスBドープIn2O3透明導電膜の機械的柔軟性 |
| ◎森 峻,一関夢希也,渡辺幸太郎,村野海渡,大榮海斗,相川慎也（工学院大学） |
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| EFM-21-009 |
反応性スパッタにより作製したn型SnOx薄膜へのN2アニールによる結合状態と電気特性への影響 |
| ◎渡辺幸太郎,川口拓真,相川 慎也（工学院大学） |
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| EFM-21-010 |
CaF2とコスパッタ成膜したIn2O3透明導電薄膜の 光学的および電気的特性評価 |
| ◎大榮海斗,森 峻,渡辺幸太郎,相川慎也（工学院大学） |
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| EFM-21-011 |
COP基板上に形成した酸化亜鉛系薄膜の繰り返し曲げ耐久性評価 |
| ◎大浦紀頼,和田英男,小山政俊,前元利彦,佐々誠彦（大阪工業大学） |
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| （オンライン） 11月18日（木） 16:35〜17:35 テーマ「学生講演 2」 |
| 座長 相川慎也（工学院大学） |
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| EFM-21-012 |
PEDOT:PSS熱電変換薄膜におけるアルカリ導入効果 |
| ◎山本裕也,神谷健太,植村将太,岸 直希（名古屋工業大学） |
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| EFM-21-013 |
溶液塗布熱分解法による三酸化タングステン薄膜の作製と高感度pHセンサーへの応用 |
| ◎牧野賀成,半井万尋,太田剛志,道端 涼,平木健太,広藤裕一,廣芝伸哉,小池一歩（大阪工業大学） |
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| EFM-21-014 |
Alナノシリンダーアレイを利用したファラデー効果のプラズモン増強 |
| ◎前田明人,水谷梨乃,平野和弥（静岡大学）,村井俊介（京都大学）,中嶋聖介（静岡大学） |
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| EFM-21-015 |
窒素プラズマ中エキシマレーザ照射による金属窒化物の低温成膜の検討 |
| ◎袖山和斗,西川雅美（長岡技術科学大学）,中島智彦,土屋哲男（産業技術総合研究所）,石橋隆幸（長岡技術科学大学） |
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