マイクロマシン・センサシステム研究会
  研究会資料は開催初日の3日前から,電気学会電子図書館(Book Park)にて購入いただけます。
詳細は,研究会参加者の皆様へのご案内よりご確認ください。
 
日 時 2022年6月7日(火) 9:15〜12:45
  2022年6月8日(水) 9:00〜16:20
場 所 金沢商工会議所会館
議 題 テーマ「【E部門総合研究会】マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」

  

(会場A) 6月7日(火) 9:15〜10:55 テーマ「マイクロマシン・センサシステム1」
座長 寒川雅之(新潟大学)
 
MSS-22-026 マイクロミラー位置を設定するスタックカンチレバー停止板の設計
○歸山敏之(所属なし)
 
MSS-22-027 モアレメタレンズの位置合わせ及びレンズ間距離の制御方法の確立
◎麻生 巧,中村宗太郎,小川主税,岩見健太郎,池沢 聡(東京農工大学)
 
MSS-22-028 赤外線レンズ用モスアイ微細構造付き凹曲面金型
◎阪井 拓,佐々木実(豊田工業大学)
 
MSS-22-029 An electromagnetic micromirror supported by metallic glass spring for large out-of-plane motion
◎Ou Chuan-Hui,Nguyen Van Toan,小野崇人(東北大学)
 
MSS-22-030 グラフェン共振器のジュール熱加振技術の開発とその共振特性の評価
◎PHAM VIET KHOA,坪内麟太郎(豊橋技術科学大学),秋田一平(国立研究開発法人産業技術総合研究所),野田俊彦,澤田和明,高橋一浩(豊橋技術科学大学)
 
(会場A) 6月7日(火) 11:25〜12:45 テーマ「マイクロマシン・センサシステム2」
座長 神田健介(兵庫県立大学)
 
MSS-22-031 低侵襲医療デバイスのための光干渉を用いた細径変位センサ
董 佳遠,◎佐藤和崇(鳥取大学工学部),森實修一,植木 賢,武中 篤(鳥取大学医学部),李 相錫,松永忠雄(鳥取大学工学部)
 
MSS-22-032 温冷感評価用ヒータ集積型触覚センサの加熱温度低減
◎南雲 光,恩田尚隆,安部 隆,寒川雅之(新潟大学)
 
MSS-22-033 エラストマシート封止MEMS触覚センサを用いた人の手による物体把持の計測
◎門田秀人,南部泰生,安部 隆,寒川雅之(新潟大学)
 
MSS-22-034 水素ガス環境用セラミック製高感度圧力センサ
◎皆川直祐,水尾仙人(日本ファインセラミックス株式会社),丹羽英二(公益財団法人 電磁材料研究所)
 
(会場A) 6月8日(水) 9:00〜10:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステム3」
座長 村上修一(大阪産業技術研究所)
 
MSS-22-035 風から発電する圧電MEMS振動発電素子
○神田健介,饗庭 岳,前中一介(兵庫県立大学)
 
MSS-22-036 タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス
◎横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介(兵庫県立大学)
 
MSS-22-037 皮内生体成分計測を目指した光導波路付き極低侵襲針の作製及び導光評価
◎森 啓悟,鶴岡典子,芳賀洋一(東北大学)
 
MSS-22-038 AC-EWODを用いた微小液滴内撹拌現象の周波数特性
◎衣笠宏紀,坊野慎治,小西 聡(立命館大学)
 
MSS-22-039 UVレーザー直描による厚膜レジストの高アスペクト比の円筒リソグラフィ
◎滝口創太(山大学院大学院),峯田 貴(山形大学大学院)
 
(会場A) 6月8日(水) 14:20〜16:20 テーマ「マイクロマシン・センサシステム4」
座長 池沢 聡(東京農工大学)
 
MSS-22-040 ハンダ付け可能な薄膜電極フィルムを用いた多チャンネル型光電容積脈波センサの試作
○外山 滋(国立障害者リハビリテーションセンター)
 
MSS-22-041 薄膜金属ガラス製静電容量形圧力センサの作製と評価
◎大塚穂高,二関隆史,岡智絵美,秦 誠一,櫻井淳平(名古屋大学)
 
MSS-22-042 高周波BAWセンサに適した支持基板一体型水晶振動子の開発
◎安田倉土,佐谷 元(新潟大学大学院),寒川雅之,安部 隆(新潟大学/新潟大学大学院)
 
MSS-22-043 正・逆熱電効果を利用した薄膜デバイス
◎伊東八重,佐々木実(豊田工業大学)
 
MSS-22-044 Fe2O3を用いた高温環境用感湿材料の検討
◎内藤光佑,佐々木恭平,池永訓昭(金沢工業大学)
 
CHS-22-022 同心円状の周期的な切り込みを持つ切り紙構造による面外変形の定量的評価
◎水名 京,岩瀬英治(早稲田大学)

  ※CHS-22-022はケミカルセンサ研究会の論文番号ですが,マイクロマシン・センサシステム研究会での発表となります。