| マイクロマシン・センサシステム研究会 |
| 戸田雅也（東北大学） | ||
| 〔副委員長〕 | 寒川雅之（新潟大学） | |
| 〔幹 事〕 | 櫻井淳平（名古屋大学） | |
| 研究会資料は開催初日の3日前から，電気学会電子図書館(Book Park)にて購入いただけます。 詳細は，研究会参加者の皆様へのご案内よりご確認ください。 |
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| 日 時 | 2023年6月30日（金） 11:00〜17:30 | |
| 2023年7月1日（土） 10:45〜15:25 | ||
| 場 所 | 豊田工業大学 | |
| 議 題 | テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」 | |
| （B会場） 6月30日（金） 11:00〜12:00 テーマ「マイクロマシン・センサシステム(1)」 | |
| 座長 村上修一（大阪産業技術研究所） | |
| MSS-23-020 | 滴下衝突を利用した圧電MEMSエナジーハーベスタ |
| ◎成田裕樹, 神田健介, 前中一介（兵庫県立大学） | |
| MSS-23-021 | バタフライ形状を持つ圧電MEMS振動ハーベスタ |
| ◎野村明弘, 神田健介, 横田隆人, 前中一介（兵庫県立大学） | |
| MSS-23-022 | リチウムイオン電池向けポーラス微細構造付きSi負極 |
| ◎時吉純平, 原 正則, 吉村雅満（豊田工業大学）, 斉藤誠法（アイセロ）, 佐々木実（豊田工業大学） | |
| （A会場） 6月30日（金） 14:00〜15:40 テーマ「マイクロマシン・センサシステム(2)」 | |
| 座長 戸田雅也（東北大学） | |
| MSS-23-023 | 凹曲面への微細パターン転写における位置合わせと歪抑制 |
| ◎久木野陽充（豊田工業大学）, 斉藤誠法（アイセロ）, 佐々木実（豊田工業大学） | |
| MSS-23-024 | 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロール |
| ◎井坂太聞（豊田工業大学）, 斉藤誠法（アイセロ）, 佐々木実（豊田工業大学） | |
| MSS-23-025 | 折り線を有する切り紙構造の折り上げのための折り線部と平板部の曲げ剛性比の設計 |
| ◎河原慶嗣, 岩瀬英治（早稲田大学） | |
| MSS-23-026 | マイクロニードル付き吸盤の穿刺抵抗力と押付け力の評価 |
| ◎小口篤紀, 岩瀬英治（早稲田大学） | |
| MSS-23-027 | ジュール熱加振技術による架橋グラフェンの共振特性の評価と共振振幅の比較 |
| ◎Pham Viet Khoa（豊橋技術科学大学）, 秋田一平（国立研究開発法人産業技術総合研究所）, 崔 容俊, 野田俊彦, 澤田和明, 高橋一浩（豊橋技術科学大学） | |
| （A会場） 6月30日（金） 16:30〜17:30 テーマ「マイクロマシン・センサシステム(3)」 | |
| 座長 神田健介（兵庫県立大学） | |
| MSS-23-028 | 静電アクチュエータのための狭ギャップ構造形成 |
| ◎片山徹哉（豊田工業大学）, 斉藤誠法（アイセロ）, 佐々木実（豊田工業大学） | |
| MSS-23-029 | Force Rebalance制御をともなった静電式共振型加速度センサのシミュレーションによる動作検証 |
| ◎近藤大暉, 畑 良幸（名城大学） | |
| MSS-23-030 | 高精度化に向けたForce Rebalance制御とデカップリング構造をともなった高Q値2軸加速度センサの構想提案と検証デバイスの作製 |
| ◎武田悠吾, 川野遥暉, 畑 良幸（名城大学） | |
| MSS-23-031 | 〔欠番〕 |
| （B会場） 7月1日（土） 10:45〜11:45 テーマ「マイクロマシン・センサシステム(4)」 | |
| 座長 寒川雅之（新潟大学） | |
| MSS-23-032 | 照射光多点分配のためのメタサーフェス光学素子の開発 |
| ○池沢 聡（早稲田大学）, 藤田真由, 岩見健太郎（東京農工大学） | |
| MSS-23-033 | 円二色性を高めるスパイラルメタマテリアル構造の研究 |
| 丸山晃平（電気通信大学）, 水名 京（早稲田大学）, 小菅拓也（電気通信大学）, 武田湧希, 岩瀬英治（早稲田大学）, ○菅 哲朗（電気通信大学） | |
| MSS-23-034 | 〔欠番〕 |
| MSS-23-035 | 葉の表面の濡れ状態を模した微細凹凸構造を有する液滴検出センサに関する研究 |
| 嶋村悠人, 松阪晃佑, 山﨑 亮（国立高等専門学校機構/和歌山工業高等専門学校）, 峯田 貴（山形大学）, ◎徐 嘉楽（国立高等専門学校機構/和歌山工業高等専門学校） | |
| MSS-23-036 | 〔欠番〕 |
| （B会場） 7月1日（土） 13:45〜15:25 テーマ「マイクロマシン・センサシステム(5)」 | |
| 座長 池沢 聡（早稲田大学） | |
| MSS-23-037 | Si カンチレバー上のナノダイヤモンドによる静磁場下多軸応力センシング |
| 山川幹太, 落合宥太, 小野崇人, ○戸田雅也（東北大学） | |
| MSS-23-038 | 多軸触覚センサのための検知素子の位置最適化 |
| ◎若林陽彩, 門田秀人, 安部 隆, 寒川雅之（新潟大学） | |
| MSS-23-039 | 高成形性形状記憶合金製触覚ディスプレイ用アクチュエータの駆動特性 |
| ◎乾 和雅, 村瀬正憲, 岡智絵美, 秦 誠一, 櫻井淳平（名古屋大学） | |
| MSS-23-040 | 7x7 SMA厚膜アクチュエータアレイMEMS触覚ディスプレイの形成とフレキシブル化のための基板分離法の検討 |
| ◎田村晴紀, 天野晏年, 齋藤 涼, 峯田 貴（山形大学） | |
| MSS-23-041 | SMA厚膜型せん断振動触覚ディスプレイのためのSU-8ばね機構の一括形成法の開発 |
| ◎清水広人, 佐藤勇人, 峯田 貴（山形大学） | |