マイクロマシン・センサシステム研究会

	研究会資料は開催初日の3日前から，電気学会電子図書館(Book Park)にて購入いただけます。 詳細は，研究会参加者の皆様へのご案内よりご確認ください。
日　時	2026年6月29日（月）　13:50〜15:30
	2026年6月30日（火）　9:30〜14:50
場　所	戦災復興記念館 宮城県仙台市青葉区大町２丁目１２－１，詳細は次のURLをご参照ください。https://www.hm-sendai.jp/sisetu/sensai/
議　題	テーマ「マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般」

  

（A1会場）　6月29日（月）　13:50〜15:30　テーマ「マイクロマシン・センサシステム１」
座長　山根秀勝（地方独立行政法人大阪産業技術研究所）
MSS-26-031	交換可能な表面保護構造を有するレーザー炭化ポリイミド力センサの作製とロボット指把持特性評価
	◎宮田唯統, 大川　優, 室山真徳（東北工業大学）
MSS-26-032	弱親水性SiO₂–SiO₂直接接合における接合強度制御と転写プロセスへの応用
	◎沈　君瀟（東北大学）,鈴木 裕輝夫，田中 秀治（東北大学）
MSS-26-033	２層PZT薄膜アクチュエータを用いた1次元圧電マイクロミラー
	◎谷口　樹, Vergara Andrea, 田中秀治（東北大学）
MSS-26-034	磁歪薄膜マイクロ構造を用いた振動励起素子
	◎進藤瑞生（東北大学），小野 崇人(東北大学)
MSS-26-035	Force Rebalance制御とデカップリング構造をともなった2軸応力式共振加速度センサのシミュレーションによる動作検証
	◎天野成哉, 畑　良幸（名城大学）

（B会場）　6月30日（火）　9:30〜11:10　テーマ「マイクロマシン・センサシステム２」
座長　畑　良幸（名城大学）
MSS-26-036	耐水機能を持つ細径手術ロボット鉗子用光学式変位センサ
	◎木村珠都, 森實修一, 武中　篤（鳥取大学）, 酒井慎一（医学部附属病院）, 李　相錫, 松永忠雄（鳥取大学）
MSS-26-037	電解エッチングによるチタン製マイクロピラ構造の作製技術の開発
	◎Qin Yizhi, 寒川雅之, 安部　隆（新潟大学）
MSS-26-038	リード型MEMS発電素子のフレーム位置の検討
	◎保坂隼成, 遠藤七海, 神田健介（兵庫県立大学）
MSS-26-039	ロール・ピッチジャイロスコープのための，面外ー面内変換機構を内蔵した2軸MEMS振動子
	◎馬　一航（東北大学），田中 秀治，塚本 貴城（東北大学）
MSS-26-040	スピン流体積効果に対する近接強磁性体膜の効果
	◎大澤立久, 小野崇人（東北大学）

（A1会場）　6月30日（火）　13:10〜14:50　テーマ「マイクロマシン・センサシステム３」
座長　室山真徳（東北工業大学）
MSS-26-041	イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二光子重合光造形技術を用いたエミッタアレイ高密度化と裏面供給機構の検討
	◎小笹陽輝, 霜降真希, 廣谷　潤（京都大学）, 鷹尾祥典（横浜国立大学）, 土屋智由（京都大学）
MSS-26-042	エレクトレットZigzag帯電素子の静電トランスへの応用
	◎田中瑛季（静岡大学）, 安宅　学, 年吉　洋（東京大学）, 橋口　原（静岡大学）
MSS-26-043	土中水分量センサのための光ファイバを用いた広帯域パルス幅変調信号回路の開発
	◎寺澤春斗, 横山紘太, 都木克之, 大多哲史, 二川雅登（静岡大学）
MSS-26-044	SU-8ピンを有するPDMSバルーンアレイ型触覚ディスプレイの形成および動的な変形挙動の評価
	○徐　嘉楽, 山﨑孝太朗, 宍戸道明（鶴岡工業高等専門学校）, 峯田　貴（山形大学）
MSS-26-045	Compact micromirror actuated by pMUT array
	◎シリポックンナタポン, ベルガラアンドレア（東北大学）,田中秀治（東北大学)

  

※	1件当り20分(質疑応答5分を含む)
※	詳細は，令和8年度電気学会E部門総合研究会のWebページ（https://www.iee.jp/smas/esoken2026/）をご覧ください。